应微智能科技 江苏应材微机电科技取得适用于四英寸和六英寸晶圆的真空吸盘专利,实现晶圆吸附转换操作便捷

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江苏应材微机电科技取得适用于四英寸和六英寸晶圆的真空吸盘专利,实现晶圆吸附转换操作便捷

金融界 2025 年 5 月 3 日消息,国家知识产权局信息显示,江苏应材微机电科技有限公司取得一项名为“一种适用于四英寸和六英寸晶圆的真空吸盘”的专利,授权公告号 CN222813579U,申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种适用于四英寸和六英寸晶圆的真空吸盘,涉及晶圆相关设备技术领域,包括柱体和吸盘壳体,所述柱体的底端固定安装有滚动盘,所述吸盘壳体的顶部固定安装有底腔,所述底腔的顶部设有凸起边缘,所述滚动盘的外表面设有凹槽。本实用新型通过转动吸盘壳体使得第一铭刻牌与第二铭刻牌位置对应,从而实现气槽与六英寸吸孔位置对应,此时开启真空泵组件,可在六英寸吸孔和四英寸吸孔底部均产生吸附力,用于吸附六英寸晶圆,转动吸盘壳体使得第一铭刻牌与第二铭刻牌错位,底部气槽与六英寸吸孔位置错位,使得底部四个六英寸吸孔失去吸附力,内部四个四英寸吸孔仍然存在吸附力,从而实现对四英寸晶圆的吸附,转换操作便捷。

天眼查资料显示,江苏应材微机电科技有限公司,成立于2019年,位于泰州市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本500万美元。通过天眼查大数据分析,江苏应材微机电科技有限公司参与招投标项目16次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息31条,此外企业还拥有行政许可7个。

本文源自金融界

江苏应材微机电取得一种适用于四英寸晶圆的传送手臂专利,八英寸晶圆与四英寸晶圆调节转换便捷快速

金融界2025年5月12日消息,国家知识产权局信息显示,江苏应材微机电科技有限公司取得一项名为“一种适用于四英寸晶圆的传送手臂”的专利,授权公告号CN222851407U,申请日期为2024年6月。

应微智能科技 江苏应材微机电科技取得适用于四英寸和六英寸晶圆的真空吸盘专利,实现晶圆吸附转换操作便捷

专利摘要显示,本实用新型公开了一种适用于四英寸晶圆的传送手臂,涉及晶圆相关设备技术领域,包括支撑臂和中心块,所述支撑臂的一端顶部固定安装有转动柱,所述中心块的内部开设有转动槽,所述转动柱与转动槽适配,所述中心块的两侧表面均开设有两个插槽,四个所述插槽中均插入有插销柱,两侧两根所述插销柱上分别固定安装有第一托臂和第二托臂,所述支撑臂上嵌入安装有两个定位机构。本实用新型所述的一种适用于四英寸晶圆的传送手臂,通过选择合适的第一托臂或第二托臂,然后转动中心块,使得滚珠与对应的第一托槽或第二托槽连接,整体支撑连接平稳,八英寸晶圆与四英寸晶圆调节转换便捷快速,操作简单。

天眼查资料显示,江苏应材微机电科技有限公司,成立于2019年,位于泰州市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本500万美元。通过天眼查大数据分析,江苏应材微机电科技有限公司参与招投标项目16次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息33条,此外企业还拥有行政许可7个。

本文源自金融界

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